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少子壽命測試儀

產(chǎn)品簡介

·數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀 型號(hào):KDK-LT-100C

為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量,按照標(biāo)GB/T1553及SEMI MF-1535用頻光電導(dǎo)法研制出了數(shù)字式。

產(chǎn)品型號(hào):KDK-LT-100C
更新時(shí)間:2023-02-21
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:540

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·數(shù)字式硅晶體少子壽命測試儀 型號(hào):KDK-LT-100C

為解決太陽能單晶、多晶少子壽命測量,按照標(biāo)GB/T1553及SEMI MF-1535用頻光電導(dǎo)法研制出了數(shù)字式少子壽命測試儀。

該設(shè)備是按照家標(biāo)準(zhǔn)GB/T1553“硅單晶少數(shù)載子壽命測定的頻光電導(dǎo)衰減法"制。頻光電導(dǎo)衰減法在我半導(dǎo)體集成電路、晶體管、整器件、核探測器行業(yè)已運(yùn)用了三十多年,積累了豐富的使用經(jīng)驗(yàn),經(jīng)過數(shù)次十多個(gè)單位巡回測試的考驗(yàn),證明是種成熟可靠的測試方法,別適合于硅塊、硅棒研磨面的少子體壽命測量;也可對硅片行測量,給出相對壽命值。方法本身對樣品表面的要求為研磨面,制樣簡便。


KDK-LT-100C數(shù)字式硅晶體有以下點(diǎn):

1、 可測量太陽能多晶硅塊、單晶硅棒少數(shù)載子體壽命。表面拋光,直接對切割面或研磨面行測量。同時(shí)可測量多晶硅檢驗(yàn)棒及集成電路、整器、晶體管硅單晶的少子壽命。

2、  可測量太陽能單晶及多晶硅片少數(shù)載子的相對壽命,表面拋光、鈍化。

3、配備用軟件的數(shù)字示波器,液晶屏上直接顯示少子壽命值,同時(shí)顯示動(dòng)態(tài)光電導(dǎo)衰退波形,并可聯(lián)用打印機(jī)及計(jì)算機(jī)。

4、配置兩種波長的紅外光源:

a、紅外光源,光穿透硅晶體深度較深≥500μm,有利于準(zhǔn)確測量晶體少數(shù)載子體壽命。

b、短波長紅外脈沖激光器,光穿透硅晶體深度較淺≈30μm,但光強(qiáng)較強(qiáng),有利于測量低阻太陽能硅晶體。

5、測量范圍寬廣

測試儀可直接測量:

a、研磨或切割面:電阻率≥0.3Ω•㎝的單晶硅棒、定向結(jié)晶多晶硅塊少子體壽命,切割片的少子相對壽命。

b、拋光面:電阻率在0.3~0.01Ω•㎝范圍內(nèi)的硅單晶、鍺單晶拋光片。

壽命可測范圍     0.25μS—10ms



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