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四探針測(cè)試儀 四探針檢測(cè)儀 四探針測(cè)定儀/四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào)：HARTS-8HARTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
產(chǎn)品分類
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2024-05-102025-04-082025-04-022025-02-07| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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四探針測(cè)試儀 四探針檢測(cè)儀 四探針測(cè)定儀/四探針電阻率測(cè)定儀 型號(hào)：HARTS-8
HARTS-8型數(shù)字式四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法家標(biāo)準(zhǔn)并參考美 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而的，用于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻（薄層電阻）的用儀器。
儀器由主機(jī)、測(cè)試臺(tái)、四探針探頭、計(jì)算機(jī)等分組成，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果。
儀器采用了新電子行、裝配。具有能選擇直觀、測(cè)量取數(shù)快、度、測(cè)量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等點(diǎn)。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試。
四探針檢測(cè)儀 術(shù) 標(biāo) ：
測(cè)量范圍 | 電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)； 電導(dǎo)率：10-5～105 s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； |
可測(cè)晶片直徑 | 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái))； 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái))； 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))； |
恒源 | 電量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA六檔，各檔電連續(xù)可調(diào) |
數(shù)字電壓表 | 量程及表示形式：000.00～199.99mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗：>1000MΩ； 度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；性、量程自動(dòng)顯示； |
四探針探頭基本標(biāo) | 間距：1±0.01mm； 針間緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差 | 0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3%±1字 |
整機(jī)測(cè)量大相對(duì)誤差 | (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5% |
整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5% |
計(jì)算機(jī)通訊接口 | 并口，速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5 秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA量程檔時(shí)）。連接電腦使用時(shí)帶自動(dòng)測(cè)量 能，自動(dòng)選擇適合樣品測(cè)試電量程； |
標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 | 溫度：23±2℃； 相對(duì)濕度：≤65%； 無頻干擾； 無強(qiáng)光直射； |
配置 四探針測(cè)試儀主機(jī)、探針臺(tái)、四探針探頭、
010-51655247
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